プラズマクリーナ×ヤマト科学株式会社 - 企業1社の製品一覧

プラズマクリーナー　V1000/1000X/1000XS

プラズマクリーナー　V1000/1000X/1000XS

13.56MHzの高周波電力を印加した プラズマクリーナー 【特徴】 ○RIE・DPの両モードを搭載 ○電極2段式方式を採用し、処理効率がアップ（V1000X） ○プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能 ○高精度マッチングユニット、RF電源は高信頼性 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 企業：ヤマト科学株式会社
• 価格：応相談

• プラズマ発生装置