小型プラズマクリーナー『KNPC-1』
12インチリング付きウェハ処理が可能！ 表面改質、無機物/有機物汚染除去！ 量産前の評価、研究に最適！ 高速、低価格
★ 12インチリング付きウェハ処理が可能！ ★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去！ ★ 量産前の評価、研究に最適！ ★ 高速、低価格 ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可 [ 主要性能] ・到達圧力：6.0Pa以下(ガスバラスト閉時） ※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート：1.07 Pa/min以下 ※ビルドアップ基準値：0.1Pa・L / sec をチャンバー容積に換算※ビル ドアップ基準値：0.1Pa・L / sec をチャンバー容積に換算 ・RFパワー制御：13.56MHz/100～1 000W ・プロセスガス流量制御：設定値に対して±10%以内 ・エッチング性能 無機物エッチングレート：平均20nm/min以上±20% 有機物エッチングレート：平均500nm/min以上±20% テストチップをφ300電極上5ポイントに配置 ※φ280円周上4点及び中央1点に配置 ※矩形電極［オプション］時は□300コーナー4点及び中央1点に配置 ワイドレンジオートチューニング
- 企業：KNE株式会社
- 価格：応相談
