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プラズマクリーナ×ハイソル株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

プラズマクリーナの製品一覧

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プラズマクリーナー G1000

ボンディングパッドの洗浄(ボンダビリティ向上)、表面改質・親水化(モールディング前処理)に最適な平行平板方式のプラズマクリーナー

G1000 / G500は、ガスプラズマのエッチング効果を利用して低圧環境下で洗浄対象物の表面をクリーニングするシステムです。 ご用途に合わせて使用するガス(アルゴン、酸素、水素+アルゴン等)を選択することにより、有機質のみならず無機質汚染も確実に除去します。 HIC基板やリードフレームのボンディング面洗浄によるボンディング強度の向上や、表面改質(親水化)による濡れ性改善に最適なシステムです。

  • その他半導体製造装置

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