【半導体製造装置関連】ミニマルスプレーコーター
レジストをスプレーノズルで塗布する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。
パルスモータ軸数：3軸 ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージ 塗布材料供給用シリンジ 塗布用ホットプレート：最大100℃ ベーク用ホットプレート：最大150℃ 気体制御：スプレーノズル用 ウェハ裏面回り込み用 ノズル乾燥防止：カップに液浸（PEGMA等） ウェハ供給：airPLAD hs5.0より セットパラメータ ・スプレー用空気圧（霧化圧） ・塗布材料供給シリンジ送り量 ・ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージ移動速度 ・ワーク（ノズル）移動用ＸＹステージポジション情報指定
- 企業：株式会社ライズワン
- 価格：応相談
