レジストをスプレーノズルで塗布する装置。 つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修のもとに、弊社が製作した装置。
パルスモータ軸数:3軸 ワーク(ノズル)移動用XYステージ 塗布材料供給用シリンジ 塗布用ホットプレート:最大100℃ ベーク用ホットプレート:最大150℃ 気体制御:スプレーノズル用 ウェハ裏面回り込み用 ノズル乾燥防止:カップに液浸(PEGMA等) ウェハ供給:airPLAD hs5.0より セットパラメータ ・スプレー用空気圧(霧化圧) ・塗布材料供給シリンジ送り量 ・ワーク(ノズル)移動用XYステージ移動速度 ・ワーク(ノズル)移動用XYステージポジション情報指定
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レジストをスプレーノズルで塗布する装置
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当社は、FAの自動化・省力化を進めるお客様に向けて、自動車などの制御装置<ハードウェア・ソフトウェアの設計・製作及び電子回路設計>、FA装置<半導体製造用、カード製造用、画像検査、搬送装置など>をオーダーメイドで製作しています。 お客様の想いを形にすべく、開発、設計、組立調整、アフターメンテナンスまで、一貫したサービスをご提供し、幅広いFA業界のお客様にお引き立ていただいてます。 市場にない装置の開発、機能を最小限に厳選したコンパクトな設備、また、現在ご使用の設備を改造したいなどの、様々なお客様のご要望に弊社の技術と経験で対応致します。 お客様の省エネ化、省人化のサポートは、知識と経験を積んできました当社技術者にお任せください!