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プロファイル計測器 - メーカー・企業と製品の一覧

プロファイル計測器の製品一覧

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ハイパワーレーザ用NFP計測光学系『M-Scope typeH』

5Wクラスの高出力レーザ等の発光ビームプロファイル計測用のNFP計測光学系

『M-Scope typeH』は、5Wクラスの高出力レーザ等の発光ビームプロファイル 計測用のNFP計測光学系です。 計測対象サンプルから出射された光束をビームサンプラーにて約5%程度を 反射させ、その反射光を対物レンズ・結像レンズにて2次元画像検出器に結像 する方式を採用しています。 これにより、高出力レーザの発光ビームプロファイル・ビーム形状を正確に 計測することができ、また、微動ステージと組合せて、光学系を焦点方向に 移動させることにより、ビーム形状の出射方向の変化を測定することも可能 です。 【特長】 ■高出力レーザのパワーを測定可能な適正レベルまで減衰 ■最大20倍の観察光学倍率 ■同軸落射照明ポートを標準装備 ■同軸落射照明装置(オプション)との組合せで顕微鏡画像観察・実像に よる位置合わせが可能 ■光ビーム解析モジュールAP013との併用により、高出力レーザNFP 計測システムの構築が可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • レーザ部品
  • その他電子計測器
  • その他計測・記録・測定器

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ウエハエッジプロファイル計測装置

従来の約10倍の高速計測機能!数秒でエッジ部の形状取得が可能です!

ウエハエッジプロファイル計測装置EPM−300は、独自開発のレーザー顕微鏡を搭載し、サブミクロンに近い精度でエッジ形状を計測。CMPなどと組み合わせ、エッジの 研磨前、研磨後の形状を重ね合わせ検証することができます。 従来の約10倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加、これによりわずか数秒でエッジ部の形状 取得が可能。そのほか、真円度計測機能、ノッチアライメント機能、ノッチ形状計測機能 、画像取得機能などを揃え、オプションでノッチの断面形状計測も可能。 また、200mm,300mmウエハ以外に、450mmウエハのエッジ形状計測もオプションで 可能なので、これからのサンプル品などをいち早く検証できます

  • 半導体検査/試験装置
  • ウエハ加工/研磨装置
  • 画像解析ソフト

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