従来の約１０倍の高速計測機能！数秒でエッジ部の形状取得が可能です！
ウエハエッジプロファイル計測装置ＥＰＭ−３００は、独自開発のレーザー顕微鏡を搭載し、サブミクロンに近い精度でエッジ形状を計測。ＣＭＰなどと組み合わせ、エッジの 研磨前、研磨後の形状を重ね合わせ検証することができます。 従来の約１０倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加、これによりわずか数秒でエッジ部の形状 取得が可能。そのほか、真円度計測機能、ノッチアライメント機能、ノッチ形状計測機能 、画像取得機能などを揃え、オプションでノッチの断面形状計測も可能。 また、200mm,300mmウエハ以外に、450mmウエハのエッジ形状計測もオプションで 可能なので、これからのサンプル品などをいち早く検証できます
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基本情報
ウエハエッジプロファイル計測装置ＥＰＭ−３００は、独自開発のレーザー顕微鏡を搭載し、サブミクロンに近い精度でエッジ形状を計測。ＣＭＰなどと組み合わせ、エッジの 研磨前、研磨後の形状を重ね合わせ検証することができます。 従来の約１０倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加、これによりわずか数秒でエッジ部の形状 取得が可能。そのほか、真円度計測機能、ノッチアライメント機能、ノッチ形状計測機能 、画像取得機能などを揃え、オプションでノッチの断面形状計測も可能。 また、200mm,300mmウエハ以外に、450mmウエハのエッジ形状計測もオプションで 可能なので、これからのサンプル品などをいち早く検証できます
価格情報
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納期
用途／実績例
300mmウエハエッジ検査 ウエハ研磨状態の検査
企業情報
大倉インダストリー（株）では、ウエハエッジプロファイル計測装置以外にも、 レーザー顕微鏡など、光学機器やメカトロ機器の製品の設計・製造・販売を 行っております。 顕微鏡を応用した自動検査装置、観察評価装置のカスタム品 対応が可能で、検査に最適な、波長、視野、検査方式、ソフトなど柔軟に対応致します。