ウエハエッジプロファイル計測装置
従来の約１０倍の高速計測機能！数秒でエッジ部の形状取得が可能です！
ウエハエッジプロファイル計測装置ＥＰＭ−３００は、独自開発のレーザー顕微鏡を搭載し、サブミクロンに近い精度でエッジ形状を計測。ＣＭＰなどと組み合わせ、エッジの 研磨前、研磨後の形状を重ね合わせ検証することができます。 従来の約１０倍の速度でプロファイルを取得する高速計測機能を追加、これによりわずか数秒でエッジ部の形状 取得が可能。そのほか、真円度計測機能、ノッチアライメント機能、ノッチ形状計測機能 、画像取得機能などを揃え、オプションでノッチの断面形状計測も可能。 また、200mm 300mmウエハ以外に、450mmウエハのエッジ形状計測もオプションで 可能なので、これからのサンプル品などをいち早く検証できます
- 企業：大倉インダストリー株式会社
- 価格：応相談
