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製造技術や測定技術におけるアライメントおよび位置決め用途の最も厳しい要件に対処
20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、 お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！ XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。 生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。 ＜仕様＞ ・駆動軸 6軸 ・トラベルレンジ XY＝±50mm、Z=±25mm、θxθy＝±15度、θz＝±30度 ・最小移動量：XY＝40nm、Z=20nm、θxθy＝0.2µrad、θz＝0.4µrad ・最大速度：2.5mm/秒、30mrad/秒 ・耐荷重：40Kg（水平時） ・任意回転中心設定 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
30kg耐荷重・±0.1µm再現性の6軸精密ヘキサポッド
H-825 ヘキサポッドは、研究・実験用途向けに設計された6自由度パラレルキネマティクスステージです。±0.1µm（Z軸）再現性と高剛性構造により、微小な位置誤差が許されない光学実験や精密計測に対応。最大30kgの耐荷重とブラシレスDCギアモータ駆動により、高負荷条件下でも安定した位置決めを実現します。高精度アライメントや試料位置制御用途に最適です。詳細仕様はカタログをご覧ください。 【活用シーン】 ・光学実験／レーザーアライメント ・精密計測・評価装置 ・半導体研究開発 ・試料ステージ／光学系調整 【導入の効果】 ・6軸同時制御による高精度アライメント ・高剛性設計による振動抑制と安定性向上 ・初期化不要のアブソリュートエンコーダ搭載で即時稼働
±0.2µmの再現性、アブソリュートエンコーダ搭載の重荷重対応モデル
研究開発分野の実験プラットフォームでは、精密な位置決めと安定した動作が不可欠です。特に、微細な調整が求められる実験や、重量のある試料を扱う際には、高い精度と剛性、そして即時的な位置情報の取得が重要となります。H-850は、これらの要求に応えるために開発されました。 【活用シーン】 ・光学実験 ・材料試験 ・精密測定 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる実験精度の向上 ・アブソリュートエンコーダによる位置決め時間の短縮 ・最大250kgの耐荷重による幅広い実験への対応
±0.2µm再現性・6軸高精度制御。天文光学系の精密アライメントに。
H-850 ヘキサポッドは、天文学研究の用途に対応した6自由度パラレルキネマティクス位置決めシステムです。±0.2µmの高い再現性とアブソリュートエンコーダを搭載し、原点復帰不要で高精度な位置制御を実現。広い移動・回転範囲により、望遠鏡光学系や検出器の精密アライメントへの組込みに適しています。詳細仕様はカタログをご覧ください。 【活用シーン】 ・天文望遠鏡の光学アライメント ・真空チャンバー内での精密試験 ・衛星搭載機器の地上評価試験 【導入の効果】 ・±0.2µm再現性による高精度光学調整 ・6軸同時制御による複雑な姿勢制御 ・アブソリュートエンコーダによる即時稼働 ・広い可動範囲で大型光学系にも対応
6自由度制御で高度バイオイメージングを支える高精度ヘキサポッド
ライフサイエンス分野における高度なイメージングや解析では、サンプルの3次元位置決めと安定したアライメントが、取得データの再現性や解析精度に大きく影響します。特に多光子顕微鏡やライトシート顕微鏡などの先端バイオイメージング装置では、6自由度での精密制御が求められます。H-840.G2IHP ヘキサポッドは、パラレルキネマティクス構造による高剛性設計を採用し、ナノメートル分解能での6自由度位置決めを実現します。高速応答性能により、複雑なアライメント動作や3D位置調整にも対応可能です。研究用途や高度なバイオ解析装置への統合にも適しています。 【活用シーン】 ・多光子顕微鏡における試料位置決め ・ライトシート顕微鏡の3Dアライメント ・バイオイメージング装置の高精度調整 ・生体試料の6自由度ポジショニング 【導入の効果】 ・ナノメートル分解能による高精度位置決め ・6自由度同時制御による柔軟なアライメント ・高剛性構造による安定した観察環境 ・複雑な光学系への容易な統合
ナノメートル分解能で6自由度アライメントを実現する高剛性ヘキサポッド
光学システムや精密測定分野では、サブミクロンレベルでの位置合わせと6自由度制御が、装置性能や測定精度に大きく影響します。特にレーザー光学系や干渉計、フォトニクス評価装置では、高剛性かつ高分解能なアライメント機構が求められます。H-840.G2IHP ヘキサポッドは、パラレルキネマティクス構造による高い剛性とダイナミクスを備え、ナノメートル分解能での6自由度位置決めを実現します。コンパクト設計により、光学ベンチや検査装置への統合にも適しています。 【活用シーン】 ・光学系の高精度アライメント ・レーザー光学システムの位置調整 ・干渉計および精密測定装置 ・フォトニクスデバイス評価 【導入の効果】 ・6自由度同時制御による効率的なアライメント ・ナノメートル分解能での精密位置決め ・高剛性構造による安定した測定環境 ・光学装置への容易な統合
30kg耐荷重・±0.1µm再現性の6軸高剛性ヘキサポッド
H-825 ヘキサポッドは、製造装置への組込みや高精度アライメント用途に適した6自由度パラレルキネマティクスステージです。±0.1µm（Z軸）再現性と高剛性構造により、重量ワークでも安定した精密位置決めを実現。最大30kgの耐荷重とブラシレスDCギアモータ駆動により、生産ラインや検査装置における高精度調整工程を支援します。詳細仕様はカタログをご覧ください。 【活用シーン】 ・半導体装置における高精度アライメント ・光学部品の6軸位置調整 ・検査装置・計測装置への組込み ・精密組立工程 【導入の効果】 ・6軸同時制御による高精度位置合わせ ・高剛性設計による振動抑制と安定動作 ・アブソリュートエンコーダ搭載で初期化不要・即時稼働 ・30kg耐荷重で大型ワークにも対応
最大250kgの重量物を高精度に位置決め。アブソリュートエンコーダ搭載。
製造業における部品移動では、正確な位置決めと安定した動作が、生産効率と品質を左右します。特に、重量のある部品や精密な組み立て工程においては、ミクロン単位の精度が求められます。位置ずれや振動は、不良品の発生や工程の遅延につながる可能性があります。H-850は、最大250kgの耐荷重と±0.2µmの再現性により、これらの課題を解決します。アブソリュートエンコーダの搭載により、起動時の位置決め時間を短縮し、生産性の向上に貢献します。 【活用シーン】 ・重量部品のアライメント ・ロボットへの部品供給 ・試験設備での部品位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・高速かつ安定した動作による生産性向上 ・アブソリュートエンコーダによる起動時間の短縮
