製造技術や測定技術におけるアライメントおよび位置決め用途の最も厳しい要件に対処
20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、 お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！ XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。 生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。 ＜仕様＞ ・駆動軸 6軸 ・トラベルレンジ XY＝±50mm、Z=±25mm、θxθy＝±15度、θz＝±30度 ・最小移動量：XY＝40nm、Z=20nm、θxθy＝0.2µrad、θz＝0.4µrad ・最大速度：2.5mm/秒、30mrad/秒 ・耐荷重：40Kg（水平時） ・任意回転中心設定 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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ライフサイエンス（生体位置決め） マイクロ部品製造検査 マイクロマニピュレーション 産業用アライメントシステム 光学部品の組み立て＆位置合わせ 各種検査
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
