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H-840.G2IHP型 ドイツ Physik Instrumente(PI)社

最終更新日:2025年06月21日

ピーアイ・ジャパン株式会社
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お客様の声を元に、ヘキサポッドの駆動精度をより高めました!XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能に

20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、 お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました! XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。 生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。 <仕様> ・駆動軸 6軸 ・トラベルレンジ  XY=±50mm、Z=±25mm、θxθy=±15度、θz=±30度 ・最小移動量:XY=40nm、Z=20nm、θxθy=0.2µrad、θz=0.4µrad ・最大速度:2.5mm/秒、30mrad/秒 ・耐荷重:40Kg(水平時) ・任意回転中心設定 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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H-840.G2IHP型 高精度ヘキサポッドステージ

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高分解能ヘキサポッド H-840G2IHP 

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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。

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