製造技術や測定技術におけるアライメントおよび位置決め用途の最も厳しい要件に対処
20年以上も前からヘキサポッドステージをご提供していますが、 お客様の声を元に、駆動精度を高めたヘキサポッドをリリースしました！ XY軸は40 nm、Z軸は20 nmのステップ動作を可能にします。 生産および測定技術における位置合わせおよび位置決めアプリケーションの最高の要求を満たすことが可能です。 ＜仕様＞ ・駆動軸 6軸 ・トラベルレンジ XY＝±50mm、Z=±25mm、θxθy＝±15度、θz＝±30度 ・最小移動量：XY＝40nm、Z=20nm、θxθy＝0.2µrad、θz＝0.4µrad ・最大速度：2.5mm/秒、30mrad/秒 ・耐荷重：40Kg（水平時） ・任意回転中心設定 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
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ライフサイエンス（生体位置決め） マイクロ部品製造検査 マイクロマニピュレーション 産業用アライメントシステム 光学部品の組み立て＆位置合わせ 各種検査
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
