高速型4ポートソーター
4ポートソーターを高速化しスループットを向上！6・8インチウェハ対応です
当製品は、4ポートソーターを高速化し、スループットを向上させた装置です。 全てのカセットステージが昇降機能をもち、取出し用と収納用のロボット 2台によるソーティングを行います。 また、1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■全てのカセットステージが昇降機能をもつ ■取出し用と収納用のロボット2台によるソーティングを行う ■1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 総合移載が可能 ■工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アテル株式会社
- 価格：応相談
