[EPMA]電子プローブマイクロアナライザー
真空中で細く絞られた 電子線を固体試料表面に照射し発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得られます
特性X線を波長分散型検出器(WDX:Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer)を用い分析することで、エネルギー分散型検出器(EDX:Energy Dispersive X-ray Spectrometer)よりも、感度の高い測定が可能です。軟X線発光分光法(SXES: Soft X-Ray Emission Spectroscopy)を用いることで、局所的な化学結合状態に関する情報も得られます。
- 企業:一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格:応相談