真空中で細く絞られた 電子線を固体試料表面に照射し発生する特性X線を分析することで、元素の同定や定量値に関する知見を得られます
特性X線を波長分散型検出器(WDX:Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer)を用い分析することで、エネルギー分散型検出器(EDX:Energy Dispersive X-ray Spectrometer)よりも、感度の高い測定が可能です。軟X線発光分光法(SXES: Soft X-Ray Emission Spectroscopy)を用いることで、局所的な化学結合状態に関する情報も得られます。
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WDX ・異物の組成分析 ・面分析による元素分布の可視化 ・％以下の微量不純物の定量分析 SXES ・遷移金属の化学結合状態分析(価数評価) ・試料断面方向からの局所的な状態分析 ・カーボン材料の結合状態変化(sp2、sp3)
企業情報
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