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各ラインのガス流量を自動演算！モバイル端末でのリモート制御が可能です
『BRENDA SERIES』は、高性能デジタルマスフローコントローラにより、 正確なガスの混合率で混合ガスを生産できるようになりました。 また、8インチタッチパネル採用により混合ガスの濃度・流量設定が簡略化 されました。 機能面も充実した当製品はVNCサーバー機能を標準搭載し、ネットワークを 介しての遠隔操作、無線アクセスポイントを介したモバイル端末でのリモート 制御を可能としました。 【特長】 ■高性能デジタルマスフローコントローラを採用 ■比率設定モード ■ステップモード ■VNCサーバー機能 ■データロギング機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能！ N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。
当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を有し、 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（MODEL 8700 SERIES） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFC！EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
『MODEL ST-500 SERIES』は、PI機能(Pressure Insensitive 圧力鈍感性)を 備えたマスフローコントローラです。 流量センサ前段に圧力センサを搭載しており、そこで捉えた圧力変動を 変動前の圧力と比較しリアルタイムでバルブ開度に補正をかけることで、 圧力変動に対して安定した流量制御を行うことが可能。 半導体製造装置など、安定性や正確性が必要となるガス供給プロセスに 適しております。 【特長】 ■圧力変動に対し安定した流量制御が可能(ST-500のみ) ■DeviceNet、EtherCAT、RS485(ST-550のみ)通信対応 ■IGS Wシール継手対応 ■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ■専用アプリによるマルチレンジ機能(30～100％F.S.) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
