ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFC！EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
『MODEL ST-500 SERIES』は、PI機能(Pressure Insensitive 圧力鈍感性)を 備えたマスフローコントローラです。 流量センサ前段に圧力センサを搭載しており、そこで捉えた圧力変動を 変動前の圧力と比較しリアルタイムでバルブ開度に補正をかけることで、 圧力変動に対して安定した流量制御を行うことが可能。 半導体製造装置など、安定性や正確性が必要となるガス供給プロセスに 適しております。 【特長】 ■圧力変動に対し安定した流量制御が可能(ST-500のみ) ■DeviceNet、EtherCAT、RS485(ST-550のみ)通信対応 ■IGS Wシール継手対応 ■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ■専用アプリによるマルチレンジ機能(30～100％F.S.) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【標準仕様】 ■センサ方式：熱式巻線センサ ■バルブ方式：比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉) ■フルスケール流量(N2換算)：10SCCM～10SLM、30SLM ■制御範囲：2～100％F.S. ■応答性：1sec以内 ■精度 ・±1％S.P.(10～100％F.S.) ・±0.1％F.S.(2～10％F.S.) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
地球を取り巻く環境は気体と液体。 それらを計測・制御・発生する技術は社会と産業の発展に必要不可欠であり、 次世代のモノづくりを支える基盤とも言えるでしょう。 コフロックは「流体を科学する」をモットーに流体の 微少量流域を主とした計測・制御技術を探求すること70余年。 多彩なフィールドで信頼を積み重ね、 今日では様々な分野で国内トップシェアの実績を誇っております。 コフロックは人と地球の未来を創る新技術で、 人々の豊かな暮らしを実現すべくチャレンジし続けます。