マニュアルプローバー『αシリーズ』
快適な操作性にこだわったマニュアルプローバー！光学系は3種から選択可能！
『αシリーズ』は、快適な操作性で評価・解析の幅広いニーズに対応する マニュアルプローバーです。 ステージや光学系は複数の種類から選択可能。 前明きの形でウエハーのロード・アンロードも容易に行えます。 レバーの操作で3段アクションのZドライブが可能。 位置合わせはウエハーから約300μm針を離して行うため、 顕微鏡の焦点からはずれずにステージが移動できます。 【特長】 ■選べるステージ/光学系 ■Zは3段階切り替え ■ステージ移動が簡単 ■確実なアライメント ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
- 企業：株式会社アポロウエーブ 本社
- 価格：応相談
