耐プラズマ表面処理 CVDイットリア
CVDイットリアは耐プラズマ性に優れた高純度保護膜です。
「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。 密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス(F系、Cl系) で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。
- 企業:テクノクオーツ株式会社
- 価格:応相談
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CVDイットリアは耐プラズマ性に優れた高純度保護膜です。
「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。 密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス(F系、Cl系) で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。