CVDイットリアは耐プラズマ性に優れた高純度保護膜です。
「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。 密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス（F系、Cl系） で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。
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基本情報
【特徴】 ○耐プラズマ性に優れたイットリア膜で基材表面をカバー ○CVD法で密着性が高い緻密イットリア膜を形成 ○イットリア膜中の不純物含有量:Na,Cu,Fe,Al＜0.2wt ppm ○300mmパーツ対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
表面保護
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企業情報
最先端の半導体・液晶・光学分野を支える石英ガラス。 当社は石英ガラス加工において独自の技術のノウハウを駆使し大型加工製品から微細加工製品まであらゆるニーズに対応しております。また、セラミックやシリコン金属の洗浄も行っております。テクノクオーツは高品質の石英ガラス製品を通じ、さらなる最先端技術の発展に貢献してまいります。
