マクロミクロレビュー検査装置
ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する8インチウェハ対応の装置をご紹介！
当製品は、ウェハ外観を目視と顕微鏡によって観察する装置です。 エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、 観察することができます。 マクロユニットでは、ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能。 ミクロユニットでは電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動するので、 トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できます。 【特長】 ■8インチウェハ対応 ■エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送、観察 ■マクロユニット：ウェハの表裏面を任意の角度で観察可能 ■ミクロユニット ・電動XYステージがあらかじめ登録した座標に移動 ・トリガーボタン一つで複数の指定座標を連続で観察できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アテル株式会社
- 価格：応相談
