全自動レーザーリペア装置
ＦＰＤのセルパネル欠陥に対し、ＩＴＯパターンをカットして修正可能。
＜PDP−ITO膜パターン修正レーザー装置＞ ■概要 PDPセルリペア装置は、点灯検査後のセルパネル欠陥に対し、ガラス越しにITOパターンをカットし、輝点を原点にし、パネルの修正を全自動にて行います。 下地の誘電体等々の材料、またパターンに影響はありません。 ■特長 １．本装置は、大型ステージに明視野顕微鏡を搭載したレーザーリペア＆レビュー装置です。 ２．ITO膜の欠陥箇所の確認や、画像ファイリングなどが可能です。 ３．明視野顕微鏡、対物レンズ、レーザースリットはパターンに合わせたθ（シータ）回転用スリット内蔵、ガントリー型XYリニアステージ（MAX：１３８０×２３００対応）、モニターシステム、大型ステージ、PCシステムなどです。
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
