全自動レーザーリペア装置
FPDのセルパネル欠陥に対し、ITOパターンをカットして修正可能。
<PDP−ITO膜パターン修正レーザー装置> ■概要 PDPセルリペア装置は、点灯検査後のセルパネル欠陥に対し、ガラス越しにITOパターンをカットし、輝点を原点にし、パネルの修正を全自動にて行います。 下地の誘電体等々の材料、またパターンに影響はありません。 ■特長 1.本装置は、大型ステージに明視野顕微鏡を搭載したレーザーリペア&レビュー装置です。 2.ITO膜の欠陥箇所の確認や、画像ファイリングなどが可能です。 3.明視野顕微鏡、対物レンズ、レーザースリットはパターンに合わせたθ(シータ)回転用スリット内蔵、ガントリー型XYリニアステージ(MAX:1380×2300対応)、モニターシステム、大型ステージ、PCシステムなどです。
- 企業:株式会社清和光学製作所
- 価格:応相談