1～3 件を表示 ／ 全 3 件
1次研磨工程で不織布パッドを！不織布パッドについてコラムでご紹介
1次研磨工程などで使用される研磨パッドは発泡ポリウレタンのみからなる 通称ウレタンパッドが主流ですが、それとは別に 不織布系研磨パッド(以下、不織布パッド)を使用するケースがあります。 不織布と呼ばれる短繊維を樹脂で固めて作られた研磨布のことを指し、 一般的な色味としては白いものが多いかと思います。 不織布パッドは、樹脂オンリーではないため研磨レートはウレタンパッド よりも出にくいですが、面精度の良さと扱いやすさにおいて利点があります。 ※コラムの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
様々な用途にバランスよく対応する不織布ベースの研磨パッド
『Suba(TM)』は、原料にポリエステル繊維を使用しており、乾式法により成形した不織布にポリウレタンを含浸させた研磨パッドです。 主に、シリコンウェーハやサファイアウェーハ、酸化物ウェーハなどの 一次研磨・二次研磨用として優れた性能を発揮します。 また、エッジ研磨やノッチ研磨にも使用可能で、それぞれのプロセスに 応じた幅広い製品ラインナップを持っております。 【特長】 ■高研磨レート ■低欠陥性 ■高平坦性 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
幅広い用途に使いやすい不織布パッド
『SUBA(TM)』はシリコンウェーハやガラス基板、サファイア基板から GaN・SiC基板まで様々な種類の基板に対応できる研磨パッドとして、 高い性能と安定性・信頼性を発揮する不織布パッドです。 様々な用途に対応できる幅広いラインアップで理想的な研磨仕上がりを達成します。 より平坦度を重視した硬質系、平面度を重視した軟質系等、様々なご要望に お応えいたします。 【特長】 ■幅広い研磨対象に用いられる、高研磨レートを特長とした不織布系パッド ■標準品だけで10種類以上をラインアップ ■高硬度、高密度なパッドは仕上り平坦性が向上 ■低硬度、低密度なパッドはディフェクトが低減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
