研磨装置 超高精度両面研磨装置 Extシリーズ
両面研磨装置の常識を打ち破る超極薄加工、高精度・高品質な平行度、平坦度を実現
従来の両面加工装置と違い上下定盤の駆動は独立駆動方式を採用し上定盤はジャイロ機構により常に水平で昇降します。 また、合成石英ガラスφ140x6tを研磨加工した平坦度データとなります。平坦度はPV値で50nmを実現しています。
- 企業：株式会社ティーエスシー
- 価格：応相談
両面研磨機 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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研磨装置 両面研磨機 MS6B-6L・P
平面研磨から球面研磨まで多彩な機能を持ち合わせたラッピング・ポリッシング装置
上定盤の押付け推力に低摺動シリンダーを採用、低加重制御が可能になりました。また、定盤・インターナルギア・サンギアの回転数は、インバーターの採用により制御可能になりました。 最大7段階までの研磨加工条件（時間：分、回転数：RPM、加重圧力：Kg）の設定、連続運転が可能です。
- 企業：株式会社ティーエスシー
- 価格：応相談
