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【真空対応】サブミクロン分解能で動作範囲50mmの位置決めステージ
ステッピングモーターとボールねじを使用して駆動しているため 位置の保持性に優れています。 内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能で位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 50mmの範囲を動作可能で「50nm」または「100nm」分解能で 制御することが可能です。（コントローラによって変わります）
この一冊で精密位置決めステージの選定が簡単にできる！導入前・導入後に役立つ情報をQ&A形式で解説！
情報通信・半導体・バイオなどさまざまな分野で使用されているステージ。「選定時に知っておきたい Q&A」は、精密な位置決めステージを検討している方や現在使用しており、より精密な動作が必要な方が位置決めステージを選定するときに必要な情報を、まとめてQ&A形式で解説しております。 【Q&A掲載例】 ■ステージとストロークのサイズはどのくらい？ ■簡単に通信する方法は？シーケンサとの接続は可能か？ ■オープンステージとフィードバックステージの違いは？ ■位置決め時間はどのくらいか？ ■どのようなところで使用されているか？… ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステージ
位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。
