真空対応 位置決めテーブル <PT>
真空対応 位置決めテーブル <PT>
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
- 企業:有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
- 価格:10万円 ~ 50万円
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真空対応 位置決めテーブル <PT>
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
真空対応 位置決めテーブル <VT>
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
真空対応 位置決めテーブル <MT>
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
薄い!厚さ25mmの高真空対応位置決めテーブル
当製品は、高真空(1×10-5pa程度)対応の位置決めテーブルです。 ストローク200mmまでは最薄25mmで、狭く限られた場所でも使用 できます。 また当社では、自社で放出ガス評価を行なっているため、高真空雰囲気中の 使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、的確な仕様の真空 アプリケーションを提供することができます。 【特長】 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■並べて配置など複数設置に最適 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
強力マグネットシートで確実に吸着し、駆動部分やスライドテーブル案内部を密閉!
『TC』は、軽量・低断面・コンパクトなクリーン精密位置決めテーブルです。 センサはサイドカバーのセンサ取付け溝に直接取り付ける構造なので、 省スペース化に貢献。 また、主要構成部品は、アルマイト処理を施した高強度アルミニウム合金と ステンレス鋼(ステンレスシート)を使用しており、耐食性に優れています。 【特長】 ■軽量・低断面・コンパクト ■清浄度クラス3に対応 ■高耐食性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。