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VT125VST−XY

最終更新日:2016年10月13日

有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
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真空対応 位置決めテーブル <VT>

弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。

    その他半導体製造装置その他理化学機器分析機器・装置
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基本情報

真空度(:到達 5×10-5Pa)対応の汎用型XY位置決めステージです。 【特長】  ◇真空対応ステッピングモータを採用(自社製)  ◇真空対応フォトセンサを採用(自社製)  ◇真空グリースの銘柄指定可、ノングリースも対応可  ◇汎用型のステージとの互換性が高く、大気→真空仕様への移行が   スムーズです。  ◇真空環境下以外でも、高温環境や放出ガスを嫌う環境などで使用   にもお薦めです。 [仕様]  外形サイズ: W188×L188×H38[mm]  ストローク: 25[mm] XY軸共 ⇒詳細はダウンロードからお問い合せ下さい。 ⇒真空対応品に関するご相談、見積などは下記コメントから  お問い合せください。

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10万円 ~ 50万円

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