位置決め装置×株式会社ジェーイーエル - メーカー・企業と製品の一覧

SAL30J1HV

ノッチレスウェーハにも対応した450mm新型アライナ

450mmシリコンウェーハの外周とT7コード又はノッチを基準に高速、高精度に位置決め 独自開発のイメージセンサを使用し、モータドライバ、コントローラを本体に内蔵 スピンドル形、形状、材質の変更にも対応可能 制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O 450mmと300mmの兼用タイプも製作可能 ウェーハ持ち直し動作が可能なZ軸付きも製作可能

• 企業：株式会社ジェーイーエル
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置