膜厚測定装置 顕微分光膜厚計 『OPTM series』
これまでの膜厚測定のお悩みをこれ1台で解決。1ポイント1秒測定＆測定エリア最小3μｍ！高性能でとにかく使いやすい顕微分光膜厚計
顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚測定と光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。 測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 【これまでの膜厚測定装置のお悩み】 ■接触式／非接触式どちらでも測定が難しい素材がある ■操作や解析に経験が必要 ■今までよりも高範囲・高精度な測定を求められるようになった ■測定用途に合わせて様々な機器が必要になる ※そんな膜厚測定装置のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します！ 【特長】 ■膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約！ ■顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数） ■1ポイント1秒以内の高速測定 ■顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外） ■エリアセンサーによる安全機構 など ※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：応相談
