分子ポンプ(油) - メーカー・企業と製品の一覧

真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！

絶対に見逃したくない、大阪真空の新製品！ ※［オンライン開催］VACUUM2020 真空展に参加

お客様の先端的な生産工程、分析、R＆Ｄなど、各分野の要求にあった真空システムを提供するため、新技術開発に加えて、既存技術を活用した設備の高度利用、安定利用、更に踏み込んで設備稼働の向上に努めています。今年の真空展では当社の新製品の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Rシリーズと直結型油回転真空ポンプVSVシリーズ（1段式）をはじめ、真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップを紹介いたします。コントローラ・電源一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Bシリーズ磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TGkine-Rシリーズ　［新製品］磁気軸受形ターボ分子ポンプ：TG-Mシリーズ姿勢自在形ターボ分子ポンプ：TG-Fシリーズドライ真空ポンプ：DSPシリーズ、ERシリーズ、FRシリーズ直結型油回転真空ポンプ：VRDシリーズ、VSVシリーズ　［新製品］ターボ分子ポンプ排気システム：STシリーズなど詳しくはPDFダウンロード、もしくはお問い合わせください。

企業：株式会社大阪真空機器製作所
価格：応相談

ターボ型ポンプ

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油潤滑形複合分子ポンプ(TGシリーズ)

腐食性ガスの排気に対応。ダストに強い構造でダスト混入によるポンプトラブルが少ない。大気突入に強い堅牢設計。

小型から大型まで幅広いクラスをラインアップしております。ご用途に合わせて排気速度200L/s～5500L/sクラスから最適なポンプを選択頂けます。

企業：株式会社大阪真空機器製作所
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複合分子ポンプ　TG553

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG1303

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG2813

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG3213

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG203

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG1003

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG3413

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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複合分子ポンプ　TG1810/1813

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

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*ターボ分子ポンプHiPaceシリーズ

圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能

高真空 (< 1x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。 •使用環境に合わせて仕様選択可能 •ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。) 省設置スペース、省ケーブル、省コスト •ドライブ回路切離しタイプ設置環境、設置スペースの自在性 •アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) 面倒な配線作業などが不要 •ワールドワイドサービス日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能

企業：伯東株式会社本社
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セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B

メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】

UTM300Bは、セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。【ラインナップ】 ○UTM300B（ISOフランジ型） ○ISO100-K フランジタイプ ○VG100 フランジタイプ ○ICF152 フランジタイプ詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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ピボット軸受型ターボ分子ポンプ UTM シリーズ

高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。【アルバック／ULVAC】

UTM シリーズは、ピボット軸受（下部）と磁気軸受（上部）を採用した全翼型のターボ分子ポンプです。ピボット軸受の採用により高速回転時の機械的接触を無くし、低振動と高圧縮比を実現しています。一般的なベアリング軸受とは異なる高性能軸受を採用し、優れた特長を持っています。【ラインナップ】 ○UTM-50 ○UTM-150 ○UTM-300 ○UTM-500 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
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【調査資料】半導体デバイス用分子ポンプの世界市場

半導体デバイス用分子ポンプの世界市場：磁気浮上式分子ポンプ、油潤滑式分子ポンプ、グリース潤滑式分子ポンプ、リソグラフィー...

本調査レポート（Global Molecular Pumps for Semiconductor Devices Market）は、半導体デバイス用分子ポンプのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の半導体デバイス用分子ポンプ市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。半導体デバイス用分子ポンプ市場の種類別（By Type）のセグメントは、磁気浮上式分子ポンプ、油潤滑式分子ポンプ、グリース潤滑式分子ポンプを対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、リソグラフィー、薄膜形成装置、エッチング装置、イオン注入装置、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、半導体デバイス用分子ポンプの市場規模を算出しました。主要企業の半導体デバイス用分子ポンプ市場シェア、製品・事業概要、販売実績なども掲載しています。

企業：株式会社マーケットリサーチセンター
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その他の各種サービス

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