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加熱冷却装置 - 企業1社の製品一覧

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ガラス基板加熱・冷却装置

ガラス基板加熱・冷却装置

■ガラス基板の加熱・冷却における製造プロセスを確立するために最適化された装置です ■ホットプレート部・クールプレート部には、長年にわたり培ってきた、八光電機製作所の均熱技術を用いています ■クリーンルームでの使用を考慮した構造です

  • 基板加工機
  • その他半導体製造装置

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