超精密・高精度な非接触エアサーボ機器と常に５年後を見越した 技術商品開発を目指す　Super Engineering Serve Labo.

■非接触エアサーボ測長器(商品名：エアスキャナ)の特徴■ 1)エア膜を介しての非接触測定であり測定物に損傷を与えない 2)スケール分解能0.02μｍで繰り返し2σ±0.2μｍと高精度 3)環境性が高く高温多湿であっても測定可能 4)測定物が空気を通過しない個体であれば材質を問わない 5)測定範囲が10mmと大きく分解能が高い　(可動範囲は16mm) 6)測定エリア(ノズル径)はφ0.5mm〜ご希望のサイズに対応できます □測定例□ 　液晶ガラス・金属箔・透明フィルム・半導体ウエハ 　セラミックス・軟質金属・ディスク・膜厚形成体・ペースト膜・粘着物 　有機弾性体等の平坦度や厚み・高さの測定が可能 □エアスキャナを用いた応用例□ 　自動焦点用のセンサ(色・材質に影響されない) 　加工装置用センサ(内圧がかかるため環境に強い) 　※供給エアの管理(除湿)は必要です ■精密エア位置決め装置(商品名：エアステッパ)の特徴■ 1)全非接触での高速位置決めが可能(摩擦・摩耗が無い) 2)高速動作なのに熱が発生しないため 　工場内空調設備の節電ができ結果省エネになる 3)圧力制御でトルク調節ができる