最小分解能0.02μm！非接触で厚み・高さ・平坦度の変位を良くてい。小形ガラスの段差測定・大型ガラスの形状測定に最適
非接触だからできる様々な測定。校正は基準ゲージで簡単に出来る！比較測定のため使い勝手が良い。厚み･高さ･平坦度の変位を再現良く測定。ご希望に合った分解能・サイズを実現します。光学測定機器での測定が困難なものにも適しています。お気軽にお問合せ下さい。詳しくは、カタログをダウンロードして下さい。
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基本情報
【特徴】 ○非接触測定の中では、色や材質の変化による計測が難しいとされていますが、 ノズルからの空気の反射圧を一定に保つことが出来るエアスキャナは、 色や材質に影響されずに様々な材質に対しての非接触測定が可能です。 ○エアスキャナが高精度なのは、内部構造が非接触で動作するため。 ○空気による力制御も可能なことから計測圧を常に一定に保つことができ、 その圧力が低いのも特徴(１g以下)。 ○コンパクトなのに可動範囲が16㎜と広くワークの搬送スペースが確保でき、 装置への組み込みも容易です。 ●詳しくは、お問合せ、もしくは、カタログをダウンロードして下さい。
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用途／実績例
○反り 液晶ガラス、太陽電池 ○平坦度 粗い面でもφ0.5㎜スポットで平均化測定 ○厚み シリコンゴム、ラバー、ディスク、フィルム、フィルム上のコーティング、半導体ウエハ、金属箔、グリース、接着剤 ○高さ測定 セラミックス、軟質金属 ○膜厚測定 フォトレジスト、ペースト膜、乾燥後のﾁｯﾌﾟ抵抗器等、厚膜形成体 ○位置決め 自動焦点用として
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企業情報
■非接触エアサーボ測長器(商品名：エアスキャナ)の特徴■ 1)エア膜を介しての非接触測定であり測定物に損傷を与えない 2)スケール分解能0.02μｍで繰り返し2σ±0.2μｍと高精度 3)環境性が高く高温多湿であっても測定可能 4)測定物が空気を通過しない個体であれば材質を問わない 5)測定範囲が10mmと大きく分解能が高い (可動範囲は16mm) 6)測定エリア(ノズル径)はφ0.5mm〜ご希望のサイズに対応できます □測定例□ 液晶ガラス・金属箔・透明フィルム・半導体ウエハ セラミックス・軟質金属・ディスク・膜厚形成体・ペースト膜・粘着物 有機弾性体等の平坦度や厚み・高さの測定が可能 □エアスキャナを用いた応用例□ 自動焦点用のセンサ(色・材質に影響されない) 加工装置用センサ(内圧がかかるため環境に強い) ※供給エアの管理(除湿)は必要です ■精密エア位置決め装置(商品名：エアステッパ)の特徴■ 1)全非接触での高速位置決めが可能(摩擦・摩耗が無い) 2)高速動作なのに熱が発生しないため 工場内空調設備の節電ができ結果省エネになる 3)圧力制御でトルク調節ができる
