空気を通さない固体であれば、どんな材質でも測れる精密な変位計
エア膜を介す非接触測定でワーク損傷が無い。 スケール分解能２０ｎｍ。 高再現性±２σ＝±０．２μｍ。 測定物の材質を問わない。 環境性が高く高温多湿であっても測定可能。 測定範囲は１０ミリ。可動範囲は１６ミリ。 粗い面でもφ0.5ミリポットで平均化測定。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
空気を通さない固体であれば、どんな材質でも測れる精密な変位計。 固体例：粘着テープ 液晶ガラス セラミックス 箔 半導体ウエハ ディスク 膜厚形成体 ペースト膜 シリコンゴム・ラバー等の有機弾性体 フィルム各種
価格情報
-
納期
※1.5ヵ月〜
用途／実績例
半導体ウエハの厚み測定装置に採用。 大型液晶ガラスの形状測定装置に採用。 極薄の金属箔の厚み測定。 結晶体の厚み測定・小型液晶ガラスの段差測定。 粘着テープ・粘着フィルム等の厚み測定。 カーボン系のフィルム等、レーザーで反射しないもの。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
■非接触エアサーボ測長器(商品名：エアスキャナ)の特徴■ 1)エア膜を介しての非接触測定であり測定物に損傷を与えない 2)スケール分解能0.02μｍで繰り返し2σ±0.2μｍと高精度 3)環境性が高く高温多湿であっても測定可能 4)測定物が空気を通過しない個体であれば材質を問わない 5)測定範囲が10mmと大きく分解能が高い (可動範囲は16mm) 6)測定エリア(ノズル径)はφ0.5mm〜ご希望のサイズに対応できます □測定例□ 液晶ガラス・金属箔・透明フィルム・半導体ウエハ セラミックス・軟質金属・ディスク・膜厚形成体・ペースト膜・粘着物 有機弾性体等の平坦度や厚み・高さの測定が可能 □エアスキャナを用いた応用例□ 自動焦点用のセンサ(色・材質に影響されない) 加工装置用センサ(内圧がかかるため環境に強い) ※供給エアの管理(除湿)は必要です ■精密エア位置決め装置(商品名：エアステッパ)の特徴■ 1)全非接触での高速位置決めが可能(摩擦・摩耗が無い) 2)高速動作なのに熱が発生しないため 工場内空調設備の節電ができ結果省エネになる 3)圧力制御でトルク調節ができる