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エアスキャナ・DS-16hs

最終更新日:2010年05月18日

株式会社エスイーエス研究所
株式会社エスイーエス研究所
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空気を通さない固体であれば、どんな材質でも測れる精密な変位計

エア膜を介す非接触測定でワーク損傷が無い。 スケール分解能20nm。 高再現性±2σ=±0.2μm。 測定物の材質を問わない。 環境性が高く高温多湿であっても測定可能。 測定範囲は10ミリ。可動範囲は16ミリ。 粗い面でもφ0.5ミリポットで平均化測定。

    電気計器・電位計(メータ)画像処理機器
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非接触超精密エアサーボ測長器

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基本情報

空気を通さない固体であれば、どんな材質でも測れる精密な変位計。 固体例:粘着テープ      液晶ガラス      セラミックス      箔      半導体ウエハ      ディスク      膜厚形成体      ペースト膜      シリコンゴム・ラバー等の有機弾性体      フィルム各種

価格情報

-

納期

詳細はお問い合わせください

※1.5ヵ月〜

用途/実績例

半導体ウエハの厚み測定装置に採用。 大型液晶ガラスの形状測定装置に採用。 極薄の金属箔の厚み測定。 結晶体の厚み測定・小型液晶ガラスの段差測定。 粘着テープ・粘着フィルム等の厚み測定。 カーボン系のフィルム等、レーザーで反射しないもの。

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■非接触エアサーボ測長器(商品名:エアスキャナ)の特徴■ 1)エア膜を介しての非接触測定であり測定物に損傷を与えない 2)スケール分解能0.02μmで繰り返し2σ±0.2μmと高精度 3)環境性が高く高温多湿であっても測定可能 4)測定物が空気を通過しない個体であれば材質を問わない 5)測定範囲が10mmと大きく分解能が高い (可動範囲は16mm) 6)測定エリア(ノズル径)はφ0.5mm〜ご希望のサイズに対応できます □測定例□  液晶ガラス・金属箔・透明フィルム・半導体ウエハ  セラミックス・軟質金属・ディスク・膜厚形成体・ペースト膜・粘着物  有機弾性体等の平坦度や厚み・高さの測定が可能 □エアスキャナを用いた応用例□  自動焦点用のセンサ(色・材質に影響されない)  加工装置用センサ(内圧がかかるため環境に強い)  ※供給エアの管理(除湿)は必要です ■精密エア位置決め装置(商品名:エアステッパ)の特徴■ 1)全非接触での高速位置決めが可能(摩擦・摩耗が無い) 2)高速動作なのに熱が発生しないため  工場内空調設備の節電ができ結果省エネになる 3)圧力制御でトルク調節ができる

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