触媒表面基準エッチング法 CARE
触媒機能を持つパッドにより、純化学的に様々な材料を原子スケールで平坦化
触媒機能を持つパッド（PtやNi等の触媒を成膜）を加工対象物上で超純水を加工液として動かすことで被加工表面上の凸部のみ化学的に除去する触媒作用を利用した独自のエッチング技術。ガラスやSiCを始めとする様々な材料表面を原子スケールで平坦化します。 CAREは更にP-V0.7nmを実現し、将来的には原子1個分の平坦度をも可能となる究極の加工法です。
- 企業：株式会社ジェイテックコーポレーション
- 価格：応相談
