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半自動露光装置×株式会社清和光学製作所 - 企業1社の製品一覧

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試作量産対応半自動露光装置

アライメント精度=±1μm以下!!!

<特徴> 試作量産に適した、高精度パターニング、アライメント精度を提供します。

  • その他半導体製造装置
  • ウエハ加工/研磨装置

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