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ファイバセンサ搭載！卓上型6、8インチ対応アライナ付ソータ装置
『SYAR110』は、卓上型ロボットとアライナ、カセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハをカセットから抜き取り、アライナでセンタリングと オリフラ位置決め後に、他方のカセットに移し替えができます。 また、帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■パソコン画面のレシピ選択によって移載するパターンの選択が可能 ■ファイバセンサ搭載 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
レシピ選択により移載パターンの選択が可能！卓上型8インチウェハ対応ソータ装置
『SYAR100』は、卓上型ロボットとカセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替えできるほか、 パソコン画面のレシピ選択により移載パターンの選択が可能です。 帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチを装備しています。 【特長】 ■ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替え可能 ■マッピングセンサ搭載 ■帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチ装備 ■専用ソフトによるパソコンでの制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
