原子層堆積装置×ALDジャパン株式会社 - 企業1社の製品一覧

原子層堆積（ALD）装置

豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置

コンパクトな卓上型ALD。 半導体デバイス、有機太陽電池、ナノワイヤー、量子ドットなどへの成膜により、表面保護や改質など様々なデバイス開発にご使用いただけます。 プロセスはALD・CVDの材料開発拠点で開発されたもの。 順次レシピを増やしてゆき、新規のプロセス開発も承っております。

• 企業：ALDジャパン株式会社
• 価格：1000万円 ~ 5000万円

• CVD装置
• その他表面処理装置