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欠陥の特定、走査および解析の自動欠陥検査を10倍迅速化する原子間力顕微鏡システム
『Park NX-HDM』は、メディア及び基盤用の自動欠陥検査及びサブオング ストローム表面粗さ測定が可能な原子間力顕微鏡です。 広範な光学検査装置と直接リンクし、自動欠陥検査のスループットを 大幅に向上させます。 また、繰り返し測定においてもサブオングストロームの正確な 表面粗さ測定を提供します。 【特長】 ■メディアおよび基板用の自動欠陥検査 ■正確なサブオングストロームの表面粗さ測定 ■真の非接触モードによるコスト削減 ■低ノイズZ検出器による正確なAFMトポグラフィー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡
原子間力顕微鏡「ステージ付ＡＦＭ」は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
C-AFMやKFM、sMIMなどの測定モードで最大100mm角のサンプルに対応
導電性AFM、ケルビンプローブフォース顕微鏡法（KFM）、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡法（sMIM）などの機能に加え、4インチまでのサンプルに対応。 ■サンプルサイズ ：最大100 mm角 ■ステージ移動距離 ：100 mm ■XY走査範囲 ： 100 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■Z走査範囲 ： 9 μm (製造寸法公差 +/- 10%) ■XY走査分解能 : 24ビット制御 – 0.06 Angströms ■Z走査分解能 : 24ビット制御 – 0.006 Angströms ■ノイズレベル ：Typ : <0.01 mV RMS
何処にでも連れて行ける奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭ
原子間力顕微鏡「ハンディＡＦＭ」は、高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は全く必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより、スキャン時にワークを移動させることが有りません。一般にＡＦＭで使用されているピエゾの持つ、非線形クリープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージとの組み合わせも可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
