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原子間力顕微鏡 「ステージ付AFM」

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最終更新日:2022年08月30日

アローズエンジニアリング株式会社
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非破壊でナノメートル以下迄の3次元測定が可能な唯一の顕微鏡

原子間力顕微鏡「ステージ付AFM」は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の3次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なAFM装置と同等の機能を有します。測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

    電子顕微鏡
4.jpg

原子間力顕微鏡 「ステージ付AFM」

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基本情報

【特長】 ○装置の移動も容易に行うことが可能 ○プローブの交換はクイックリリースメカニズムにより、初めての方でも数秒で交換可能 ○測定したい座標を入力またはMAP表示から指定するだけで自動測定可能 ○測定ヘッドは広範囲タイプと高精度タイプの2つを用意 ○測定1スキャンの測定時間が1秒程度 ○側面の観察がリアルタイムで可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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用途/実績例

【用途】 ○微細線幅測定 ○高精度金型の表面解析 ○マスクパターンの測定 ○光学部品の評価 ○研磨、ラッピングの評価 ○DVDピットやスタンパー検査 ○薄膜の段差測定 ○量子ドットの測定 ○成膜時の連続、不連続判定  ○フィルムの表面検査 ○ハードディスクの磁気フィールドの観察 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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弊社は1986年の会社創設以来、長らく日本の最先端の技術を支える半導体付帯事業を展開してまいりました。ハード面 ではクリーンルームをはじめとする、工事製造環境の整備。また、人的要素では半導体技術者の育成ならびにお客様のニーズに即応できるサービス体制の確立に主眼をおいてまいりました。そして昨年は、SEMICON Japanに初出展を果たし多くの 業界関係者と直接触れ合うことで、今何を必要とされているのか、いかなるサービスを創出すべきなのかを改めて学ぶことができました。また、同時に社内の志気も高まっきており積極的な営業活動を実施しております。日本経済の景気もようやく上昇志向となってきたと言われております。しかし、半導体業界だけを見ても海外メーカーの進出、技術力、サービスの向上は著しいものとなっておりますので国際競争力を高めることを念頭に営業展開をしていきたいと考えております。国内はもとより、グローバル化時代に対応して北米とアジアを結ぶ拠点として我が日本そして、空港アクセスに優れている当社の担う役割はさらに高まっていきます。

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