1～3 件を表示 ／ 全 3 件
精密クラスの回転ステージ！オプションで真空バージョンも取り扱っております。リファレンスポイントスイッチで中央の開口部は直径7mm
『U-628』は、直接測定用に光学エンコーダを内蔵し、 範囲に制限はない高速小型回転ステージです。 リファレンスポイントスイッチで、中央の開口部は直径7mm。 「PILine超音波ピエゾモータ」で、振動するピエゾセラミック アクチュエータが、リング状のランナーで直接動作します。 高速、保持トルクは0.1Nmです。 【特長】 ■側面の長さ50mm ■位置エンコーダを内蔵 ■1000°/秒を超える速度 ■回転範囲は制限なし ■開口部の直径：7mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
摩擦ゼロの回転精度。平面度200nm以下で光学検査に最適
PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xは、高分解能エンコーダを搭載したフリクションレスのトルクモーター駆動ステージです。 優れた回転精度（偏心および平坦度 <1 µm）と、微小なティルトエラー（±20 µrad）を実現し、高度なアライメントや回転制御が求められるアプリケーションに最適です。 プラットフォーム径は85 mm〜210 mm、任意方向設置に対応。光学系、半導体、バイオメディカルなど幅広い分野で活用できます。
