開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xは、高分解能エンコーダを搭載したフリクションレスのトルクモーター駆動ステージです。 優れた回転精度（偏心および平坦度 <1 µm）と、微小なティルトエラー（±20 µrad）を実現し、高度なアライメントや回転制御が求められるアプリケーションに最適です。 プラットフォーム径は85 mm〜210 mm、任意方向設置に対応。光学系、半導体、バイオメディカルなど幅広い分野で活用できます。
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基本情報
・ダイレクトドライブによる効率的な動的性能 ・モーションプラットフォーム 直径85 mm、110 mm、210 mm ・偏芯および平面度 < 1 μm ・薄型 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
・サンプル検査 ・精密マイクロアセンブリ ・研究 ・バイオテクノロジー ・半導体検査・測定 ・オートメーション ・デバイス組立 ・レーザー微細加工 ・センサー校正とテスト ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。
