開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
計測や測定、検査では正確な精度が求められます。誤差を減らしたり、正確な位置決めが不可欠です。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、1µm未満の偏心と平坦度により、正確な校正作業をサポートします。 【活用シーン】 ・光学計測・検査 ・半導体・電子部品の精密検査 ・センサー・計測機器の校正 【導入の効果】 ・測定誤差の低減と再現性の向上 ・高精度かつ安定した角度位置決め ・長期安定運用による測定信頼性の向上
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基本情報
【特長】 ・ダイレクトドライブによる効率的な動的性能 ・モーションプラットフォーム 直径85 mm、110 mm、210 mm ・偏芯および平面度 < 1 μm ・薄型 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適なソリューションを提供します。世界シェアNo.1のピエゾステージをはじめ、幅広い製品ラインナップと、位置決めに関する豊富な知識でお客様をサポートします。
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納期
用途/実績例
・サンプル検査 ・精密マイクロアセンブリ ・研究 ・バイオテクノロジー ・半導体検査・測定 ・オートメーション ・デバイス組立 ・レーザー微細加工 ・センサー校正とテスト ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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Physik Instrumente(PI)は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。








