更新日： 集計期間:2025年04月23日～2025年05月20日
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非常にコンパクトで、回転を真空システムへ転送することができる回転導入機！！
●磁気カップリングにより真空漏れはありません ●高磁力による伝達トルクでバックラッシュがありません。 ●２５０℃までのベーキングに耐えうる超高真空仕様です。 ●回転に硬さを持たせることが出来、必要な位置でストッパーなしで静止させられます。 ●取付フランジCF10（外径：25.4mm）!)CF100（外径：152.4mm）に対応した豊富な品揃えとなっています。 ●ユニークな中空型回転導入機や両端シャフト型回転導入機もあります。 ●駆動力として、DCモーター、ステッピングモーター、圧搾空気方式があります。 ●3種類のベアリングが特注で選択できます。 ●標準型回転導入機と2種類の中空型回転導入機を組み合わせる事により3軸の試料や基板の制御が出来ます。 ●標準型回転導入機にはマニュアル方式で目盛ダイアル付やグリップ付が準備されています。
マグネット方式なので、操作は安定・半永久的！超高真空領域まで対応可能！
当社では、『2軸型 回転導入機（マグネット型）2Axial Rotary Drives』を 取り扱っています。 マグネット方式なので、操作は安定・半永久的です。 内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで対応。 マグネット結合により運動を伝達するので外部との真空封止は完全です。 また、固定ネジにより、任意の角度設定が可能です。 【特長】 ■接続フランジはICF規格 ■内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで対応 ■マグネット結合により運動を伝達するので外部との真空封止は完全 ■固定ネジにより、任意の角度設定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空中の試料や機器等に、大気側から回転運動と直進運動を伝達する2軸型導入機
当社では、『2軸型 直進・回転導入機（ベローズ型）』を取り扱っています。 真空中の試料や機器等に、大気側から回転運動（外軸）と 直進運動（内軸）を伝達します。 【ラインアップ(抜粋)】 ■ベローズ型回転導入機（φ軸）KBM-I ■ベローズ型回転導入機（φ軸）KBM-II ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ベローズ式回転導入機
本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が２°±０.５°のコンパクト回転導入機と、０.５°の高精度回転導入機の２タイプをご用意致しております。
超小型回転導入機 RFTシリーズ
強力な希土類磁石を用いた磁気結合構造により 連続高速回転に使用できる、超小型回転導入機 【特徴】 ○ベアリングを交換するだけで半永久的に使用可能 ○小型化設計にて取り付け場所を選ばない 共通部品を多く採用し、ローコスト設計 ○磁気結合構造により長寿命 ○200℃までの高温ベーキング対応（NWフランジタイプは150℃） ○用途によりトルクの選択が豊富 ○多彩なオプションを設定（260℃高温タイプ、圧空駆動、モータ駆動等） ○特殊軸形状の製作も可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
真空チャンバー内で、サンプルや各種コンポーネントを回転させます。
回転導入機 ZRDシリーズは真空チャンバー内で、サンプルや各種コンポーネントを回転させるために使用します。それほど精度を要求されない廉価版から、高精度型まで、各種取り揃えております。詳しくはお問い合わせください。
MD16/MD40シングルシャフト・MDG40デュアルシャフト直線回転導入機
『MD16／MD40／MDG40』は、真空中の試料や機器に大気側から 直線運動と回転運動を伝達するトランスファーアームとして使用できる 磁気駆動の直線回転導入機です。 特定の直線位置に設定できる調整可能なストップリングと アクチュエーターをロックするための止めネジが搭載されています。 【特長】 ■シングルシャフト直線回転導入機 ・ロードロックからメインチャンバーへのサンプル移送に好適 ・サンプルキャリア又はサンプルストレージスタックの移送に役立つ ・ポートアライナーと六角レンチアダプターを使ってネジを絞め可能 ・特定の位置でサンプルロックメカニズムを固定可能 ■デュアルシャフト直線回転導入機 ・微調整可能な磁気カップリングのファインアジャスターで開閉を 正確に制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
特殊形状対応可能！オールメタル製なので超高真空対応も可能なベローズ式回転導入機
『RFDシリーズ』は、滑らかな回転運動を提供するベローズ式回転導入機です。 伝達トルクは0.5Nm～1.6Nmで、ベーキング可能温度は300℃。 オールメタル製なので超高真空対応です。 接続フランジがICF34の「RFD-034」や、ICF70の「RFD-070」をラインアップ しております。 【特長】 ■滑らかな回転運動を提供 ■伝達トルクは0.5Nm～1.6Nm ■ベーキング可能温度は300℃ ■オールメタル製なので超高真空対応 ■特殊形状対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
3kg･cmから最高100kg･cmの高トルクタイプのものまで各種ご用途に応じて選択可能！
当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が 10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。 磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。 真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用して おりませんので、超高真空系に適しています。 【特長】 ■大きな伝達トルク ■長寿命 ■ベークアウト可能 ■アウターロータストッパ ■モータ駆動可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
直線導入機・回転導入機で日本のものづくりをバックアップ！
ベローズ式回転式直線導入機とベローズ式プッシュプル式直線導入機は、真空側が超高真空用潤滑剤（クライトックス）を使用したフィルムベアリングで、大気側は高温用 クライトックスを使用したベアリングです。 【特徴】 ・超高真空領域での使用が可能 ・DCステップモーター、高トルクDCステップモータ、リバーシブルACモータ等を取付可能（オプション） ベローズ式回転式回転導入機は、真空側がタングステンジスルフィドを使用したドライフィルムベアリング、大気側は高温用 クライトックスを使用したベアリングです。 【特徴】 ・超高真空領域での使用が可能 ・高トルク対応（最大1.8N-m） ・DCステップモーター、高トルクDCステップモータ、リバーシブルACモータ等を取付可能（オプション） また、ウォブルスティック導入機もございます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
駆動方式にマグネット駆動方式、ベローズ駆動方式を採用した回転導入機をご紹介
当社では、駆動方式にマグネット駆動方式、ベローズ駆動方式を採用した 回転導入機を取り扱っています。 低トルクから高トルクまで豊富な機種をご用意しております。 【ラインアップ(抜粋)】 ■マグネット型回転導入機（φ軸）KMMR-34S ■マグネット型回転導入機（φ軸）KMMR-34 ■マグネット型回転導入機（φ軸）KMR-70 ■ベローズ型回転導入機（φ軸）KBM-I ■ベローズ型回転導入機（φ軸）KBM-II ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウォームギアを使用することでスムーズに位置決めが可能！中空構造の回転導入機
当社では、『中空型 回転導入機』を取り扱っています。 クライオスタット、液体窒素シュラウド等を超高真空内に挿入して 回転させることが可能です。 手動式高精度型及びモーター駆動式高精度型の2種類があり、ウォームギアを 使用することにより、スムーズに位置決めが可能。 また、有効内径を最大限に広げたことにより、中に取り入れる機構の寸法等を 気にすることなく取り付けができます。 【特長】 ■クライオスタット、液体窒素シュラウド等を超高真空内に挿入して 回転させることが可能 ■手動式高精度型及びモーター駆動式高精度型の2種類 ■補助用ターボ分子ポンプで差動排気（ICF-34接続）を行うことにより、 超高真空装置での使用が可能 ■トルクにこだわり、負荷なくスムーズに回転を行なうことが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
