ベローズ式回転導入機
ベローズ式回転導入機
本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のコンパクト回転導入機と、0.5°の高精度回転導入機の2タイプをご用意致しております。
- 企業:入江工研株式会社
- 価格:応相談
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ベローズ式回転導入機
本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のコンパクト回転導入機と、0.5°の高精度回転導入機の2タイプをご用意致しております。
特殊形状対応可能!オールメタル製なので超高真空対応も可能なベローズ式回転導入機
『RFDシリーズ』は、滑らかな回転運動を提供するベローズ式回転導入機です。 伝達トルクは0.5Nm~1.6Nmで、ベーキング可能温度は300℃。 オールメタル製なので超高真空対応です。 接続フランジがICF34の「RFD-034」や、ICF70の「RFD-070」をラインアップ しております。 【特長】 ■滑らかな回転運動を提供 ■伝達トルクは0.5Nm~1.6Nm ■ベーキング可能温度は300℃ ■オールメタル製なので超高真空対応 ■特殊形状対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。