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最終更新日:2020年09月11日

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ベローズ式回転導入機

本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のコンパクト回転導入機と、0.5°の高精度回転導入機の2タイプをご用意致しております。

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本ベローズ式回転導入機は高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が2°±0.5°のコンパクト回転導入機と、0.5°の高精度回転導入機の2タイプをご用意致しております。

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