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ガントリ固定型ステージ（石定盤）
石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです
「WXY100」は、カスタムワークホルダステージ/異形のワークの固定用ステージです。 検査、試験装置へのワーク固定用ステージとしてカスタマイズ可能なステージです。 ワーク形状、サイズ、調整軸数など様々なカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○調整ストローク 50～100mm ○ワークサイズ 100～200ｍｍ ○調整軸数 フルカスタム対応 ○対象装置 フルカスタム対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
