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圧電膜成膜装置 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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圧電膜成膜装置

MEMSやFBARの生産に特化した成膜装置です。

米国AMS社スパッタ装置(圧電膜、誘電体膜、メタルスパッタ装置)は、Al膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜において高い面内均一性を達成します。

  • 圧電デバイス
  • センサ

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