小型基板洗浄機『Ecclear』【小型基板に対する洗浄に最適！】
2インチ未満の小型基板の洗浄・乾燥に特化した小型基板洗浄機！新規材料に関する開発、デバイス化を強力にサポート！
『Ecclear』は、直径2インチサイズ未満の小径基板を洗浄・乾燥する装置です。独自に開発した小径基板専用の 洗浄・乾燥機構により、高いレベルの清浄度が達成可能になりました。研究開発で使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・メムスパーツなどの洗浄乾燥に最適です。 【特長】 ■低ダメージで高い付着物除去能力を発揮するブラシを開発 ■遠心力で偏心する乾燥機構（特許番号：WO2015-098699） ■HEPAフィルター ■搬送オプションで量産対応も可能 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい
- 企業：Orbray株式会社
- 価格：応相談
