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禁水性の製品や多量の廃液を発生させたくない金属除去プロセスや反応制御炉として適用！
「塩素炉」は、サーモニック独自の技術により、Cl2、HClガスなどの ハロゲンガス対応する装置です。(CE、SEMI、UL規格認証) 棚板ヒーター採用により均一加熱が可能で、サンプル内部までCl2ガスが 拡散し高効率の反応ができます。 また、発生した塩化物の沸点を降下でき、より低温での処理が可能です。 【特長】 ■独自の技術により、Cl2、HClガスなどのハロゲンガス対応 ■棚板ヒーター採用により均一加熱が可能 ■サンプル内部までCl2ガスが拡散し高効率の反応が可能 ■発生した塩化物の沸点を降下でき、より低温での処理が可能 ■Cl2やHClガスの漏洩リスクを低減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
小型塩素炉の開発背景や、装置の仕様、運用ポイントなどを分かりやすくご紹介！
当社が取り扱う小型塩素炉について、 ■開発の背景 ■塩素炉内部での不純物除去メカニズム(塩化揮発法) ■装置の仕様・運用ポイント を連載でご紹介します。 まずは「なぜ塩素炉なのか？」から。 近年、半導体の微細化·電池の高性能化に伴い、粉体原料に求められる 金属不純物(Fe/Cu/Niなど導電性異物)管理は、ppm～ppbレベルへ急速に 高度化しています。 わずかなコンタミでも、歩留まり·信頼性に致命的な影響を与えます。 一般的な対策としては 1 湿式(酸処理)：強酸で金属不純物を溶解除去 2 乾式(磁選)：強力な電磁石で磁性粒子を回収 が採られてきました。 しかし、 ■湿式は均一除去の利点がある一方で、大量の排水、禁水性材料に不適、 再乾燥によるエネルギー負荷などの課題。 ■磁選は磁性を持つ粒子に限定され、非磁性の金属化合物や微細付着物には 効きづらい。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
設計思想と運用設計で"危険を管理する"ことが本質！運用の安心感も設計に
前回は、塩素炉で金属不純物を塩化物に変換して取り除く原理(塩化揮発)を ご紹介しました。 今日は多くの方が抱く疑問 「Cl2やHCIのような腐食性・有毒ガスを"高温で"流すのは危険では？」に お答えします。 管状炉は入手しやすく多用途で、少量サンプルの新規合成には好適です。 一方で 「有効加熱域が小さく、スケールアップで頭打ちになりがち」 「長期使用やヒートショックで管に微小クラック、正圧運転時に漏えい リスクが増大」といった"現場あるある"も否めません。 「高温×腐食性ガス＝危険」は直感的に正しい。だからこそ、設計思想と 運用設計で"危険を管理する"ことが本質です。Thermonik ENGの小型塩素炉は、 その発想でつくられています。 安全をつくる設計思想 1)負圧(減圧)運転を基本に 真空システムを有しているため、炉内圧を常に大気圧より低く維持。 万一のシール劣化時も外部への吹き出しを抑制し、Cl2/HCIの漏えいリスクを 低減します。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
従来炉では難しかった塩素・塩化水素の安全運転を実現。腐食性ガス対応の高耐食設計で、再現性ある乾式運転
当社では、研究開発用「小型塩素炉」を取り扱っております。 管状炉の“ガス漏洩リスクが高く、安全性に乏しい"“試料スケールアップや 連続試験に不向き"といった課題を解決するために開発。 本装置は、塩素および塩化水素を安全かつ制御性高く供給できる密閉構造炉であり、 試料量を確保しつつ、腐食性ガスを用いた乾式処理を研究レベルで再現性高く 行うことが可能です。 【特長】 ■高耐食材料採用：サーモニック独自の技術により高耐食性を実現 ■スクラバー連結容易：液吸収・二段式中和塔などとの接続が簡便 ■腐食ガスモニタ対応：漏洩検知センサーとの連動運転が可能 ■スケール適応性：数g〜数100gまでの試料処理に対応 ■常に負圧での運転：大気圧よりも低い圧力で運転することにより プロセスガスの漏洩リスクを低減 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
小型塩素炉の高耐食構造と精密雰囲気制御を活かし、金属・合金・セラミックスなどの腐食メカニズム研究への応用を
当社では、塩素・塩化水素雰囲気での腐食挙動を再現できる「塩素炉」を 取り扱っております。 高温×腐食性雰囲気を安全に再現できる実験炉。塩素ガスによる高温腐食機構の 基礎研究や耐塩素性材料(高合金・被膜材・セラミックス)の耐久評価、腐食防止 コーティングの試験プラットフォームなどへの応用が理論的に期待されます。 また当社では、テスト機もご用意いたしております。 【特長】 ■塩素・塩化水素など腐食性ガス対応 ■減圧・温度の同時制御 ■乾式構造による高純度雰囲気 ■常時減圧雰囲気によるプロセスガスの漏洩リスクを低減 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
堆積膜・反応生成物を塩化揮発で選択除去！母材の寸法や表面粗さを維持します
「小型塩素炉」は、Cl2/HClによる“選択塩素化→揮発"を用いた治具向け ドライクリーニング装置です。 MOCVD/エピ炉サセプタ、石英ボート・管等に付着したGaN/AlN/Si系生成物を 対象に、材料に応じた温度段階とガス組成で塩化物へ変換し、低温で揮発除去。 また、酸洗い不要で廃液負担を抑え、寸法変化・歪み・粒界損傷を最小化します。 【特長】 ■選択塩素化×段階温度：付着物を塩化物化→低温で揮発、 母材ダメージを抑制 ■乾式で廃液最小：酸洗いレス、洗浄・乾燥工程を短縮 ■寸法・表面を維持：負圧運転/酸素分圧制御で歪み・粗さ変化を抑える ■多材料対応：石英・SiC・C/C・金属(Mo/W/Al系)などの治具に適用可 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
