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禁水性の製品や多量の廃液を発生させたくない金属除去プロセスや反応制御炉として適用！
「塩素炉」は、サーモニック独自の技術により、Cl2、HClガスなどの ハロゲンガス対応する装置です。(CE、SEMI、UL規格認証) 棚板ヒーター採用により均一加熱が可能で、サンプル内部までCl2ガスが 拡散し高効率の反応ができます。 また、発生した塩化物の沸点を降下でき、より低温での処理が可能です。 【特長】 ■独自の技術により、Cl2、HClガスなどのハロゲンガス対応 ■棚板ヒーター採用により均一加熱が可能 ■サンプル内部までCl2ガスが拡散し高効率の反応が可能 ■発生した塩化物の沸点を降下でき、より低温での処理が可能 ■Cl2やHClガスの漏洩リスクを低減 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
必要ユーティリティーは冷却水、電力！面倒な準備は不要なオールインワン設計
前回は小型塩素炉の適用実績と、今後有望と考える用途をご紹介してきました。 今回は、小型塩素炉の主な仕様についてご紹介いたします。 これまで当社で取り扱ってきた塩素炉は装置寸法が大きく、設置スペースが 必要で、炉を運転するためのユーティリティー量も大きなものが必要でした。 Part4で紹介してきたように、塩素炉はまだまだ発展途上であるため、 さらなる用途開発のためにはR＆D用の小型サイズである必要があると考え、 この度「小型塩素炉」を新たに開発しました。 【小型塩素炉の主な仕様】 ■炉内寸法：200mm×200mm×200mm ■設置寸法：1000mm×1000mm×2000mm ■ガス雰囲気：Cl2、HCI、N2、Ar、H2 ■最高温度：1400℃ ■真空度：数Pa ■必要ユーティリティー：冷却水、電力 ※除害装置はオプションとしてご用意可能です。 ※仕様は開発中のもので、予告なく変更される場合があります。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
堆積膜・反応生成物を塩化揮発で選択除去！母材の寸法や表面粗さを維持します
「小型塩素炉」は、Cl2/HClによる“選択塩素化→揮発"を用いた治具向け ドライクリーニング装置です。 MOCVD/エピ炉サセプタ、石英ボート・管等に付着したGaN/AlN/Si系生成物を 対象に、材料に応じた温度段階とガス組成で塩化物へ変換し、低温で揮発除去。 また、酸洗い不要で廃液負担を抑え、寸法変化・歪み・粒界損傷を最小化します。 【特長】 ■選択塩素化×段階温度：付着物を塩化物化→低温で揮発、 母材ダメージを抑制 ■乾式で廃液最小：酸洗いレス、洗浄・乾燥工程を短縮 ■寸法・表面を維持：負圧運転/酸素分圧制御で歪み・粗さ変化を抑える ■多材料対応：石英・SiC・C/C・金属(Mo/W/Al系)などの治具に適用可 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
